|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО - МИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2186359 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N001/28 H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | ВОЛКОВ Н.В. и др. Устройство для одностороннего утонения металлических фольг. ПТЭ. - 1984, № 5, с. 204. SU 1442861, 07.12.1988. SU 1775639, 15.11.1992. SU 1798651, 28.02.1993. SU 1154576, 07.05.1985. GB 2095857, 06.10.1982. |
| Имя заявителя: | Реутов Валерий Филиппович,Реутов Игорь Валерьевич | | Изобретатели: | Реутов В.Ф.
Реутов И.В. | | Патентообладатели: | Реутов Валерий Филиппович
Реутов Игорь Валерьевич |
Реферат | |
Использование: для приготовления образцов из полупроводников и диэлектриков для просвечивающей электронной микроскопии. Сущность изобретения: на одну из поверхностей образца, погруженного в химический реактив, воздействуют струей реактива, что приводит к его утонению, и на конечной стадии утонения в момент появления микроотверстия в утоненном участке образца блокируют обрабатываемую поверхность образца от реактива воздушным пузырьком, формирующимся за счет избыточного давления воздуха, создаваемо
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента