RU 2380195 C1, 27.01.2010. RU 2265076 C1, 27.11.2005. US 20060042414 A1, 02.03.2006. EP 2112670 A1, 28.10.2009. EP 1115523 B1, 14.05.2003.
Имя заявителя:
Калачев Алексей Александрович (RU), Карпов Дмитрий Алексеевич (RU), Литуновский Владимир Николаевич (RU)
Изобретатели:
Калачев Алексей Александрович (RU) Карпов Дмитрий Алексеевич (RU) Литуновский Владимир Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Калачев Алексей Александрович (RU) Карпов Дмитрий Алексеевич (RU) Литуновский Владимир Николаевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам получения наночастиц в вакуумном дуговом разряде. Технический результат - упрощение способа, увеличение его производительности, уменьшение дисперсии размеров получаемых наночастиц. Способ включает вакуумирование камеры с размещенными в ней катодом и анодом, инициацию и поддержание дуговых плазменных микроразрядов между катодом и анодом в катодных пятнах при приложении напряжения не менее 10 В и разрядном токе не менее 1 А, синтез наночастиц и их осаждение на коллектор или носитель. При этом давление в камере поддерживают не более 10 Па. Синтез наночастиц осуществляют путем испарения материала катода, естественного расширения пара из катодных пятен в вакуум и/или низкоплотную холодную плазму межэлектродного промежутка и его охлаждения и нуклеации в зоне или зонах первичного синтеза. Кроме того, синтез может также осуществляться путем транспортировки при помощи электромагнитных полей несинтезированной при испарении и естественном расширении в вакуум ионизированной части пара в зону или зоны вторичного синтеза и его обработки в этих зонах низкотемпературной плазмой и/или химическим газообразным агентом и/или ионным и/или электронным и/или молекулярным пучком. 16 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента