ГОРОХОВ М.В. и др. Электрогидродинамическое диспергирование металлов с использованием электронно-лучевого нагрева. Журнал технической физики, 2008, т.78, вып.9, с.46-51. RU 2265076 С1, 27.11.2005. US 7220463 В2, 22.05.2007. JP 2000096112 А, 04.04.2000.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "ИНКАТТЕК" (RU)
Изобретатели:
Кожевин Владимир Михайлович (RU) Горохов Максим Вадимович (RU) Гуревич Сергей Александрович (RU) Явсин Денис Алексеевич (RU) Кузьмин Игорь Александрович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "ИНКАТТЕК" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам и устройствам получения частиц нанометрового размера для создания сенсорных, электронных и оптоэлектронных приборов и высокоселективных твердотельных катализаторов. Осуществляют диспергирование расплавленного материала. Образовавшиеся жидкие микрокапли этого материала подают в поток электронов для дозарядки микрокапель до состояния, в котором начинается их каскадное деление, с получением наночастиц, наносимых на подложку. При этом параметры потока электронов и время нахождения жидких капель в нем удовлетворяют определенным соотношениям. Предложенное устройство содержит размещенные в вакуумной камере и установленные соосно узел формирования потока микрокапель с катодом и анодом, узел дозарядки микрокапель и узел осаждения наночастиц с дисковым катодом с центральным отверстием, анодом и подложкой, установленной на аноде. При этом узел формирования потока микрокапель установлен с осевым зазором относительно узла дозарядки микрокапель, вокруг которого установлен кольцевой управляющий электрод, подключенный к регулируемому источнику напряжения. Дополнительно узел формирования потока микрокапель содержит диэлектрический диск с центральным отверстием, в кольцевом пазе которого установлен кольцевой катод, а анод выполнен в виде металлической иглы, являющейся первым анодом. А узел дозарядки микрокапель содержит диэлектрический корпус в виде полого круглого цилиндра с центральными торцовыми отверстиями, в котором установлены первый круглый цилиндрический катод и первая круглая цилиндрическая металлическая сетка, являющаяся вторым анодом, между которыми размещен первый эмиттер электронов. Обеспечивается формирование наноструктуры из наночастиц меньшего размера и с более узкой дисперсией. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 3 ил.